[实用新型]一种动态配气仪有效
| 申请号： | 201921653330.5 | 申请日： | 2019-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN211462757U | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 朱道云;李京 | 申请（专利权）人： | 深圳市云顶自动化技术有限公司 |
| 主分类号： | B01F3/02 | 分类号： | B01F3/02;B01F15/04 |
| 代理公司： | 广东腾锐律师事务所 44473 | 代理人： | 莫锡斌 |
| 地址： | 518100 广东省深圳市龙岗区横岗街道*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种动态配气仪，包括混合气室以及分别与混合气室的第一进气口和第二进气口相通的标准气通路和零点气通路；标准气通路与混合气室之间依次串联有第一电磁阀、第一质量流量控制器和第一单向阀；零点气通路与混合气室之间依次串联有第二电磁阀、第二质量流量控制器和第二单向阀；第二电磁阀为三通电磁阀；零点气通路包括第一稀释气通路和第二稀释气通路，第一稀释气通路和第二稀释气通路分别与第二电磁阀连接；在第二稀释气通路上串联有气泵；混合气室的出气口连接有出气通路，在出气通路上串联有一流量计。本实用新型结构简单合理且生产成本较低，能够实现两种稀释气的随时切换，并能准确地控制任一输气通路的气体质量流量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 动态 配气仪 | ||
【主权项】：
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