[实用新型]一种半导体光刻机设备环境净化检测装置

摘要

本实用新型公布了一种半导体光刻机设备环境净化检测装置，包括电热炉主体、变频旋钮和电机，所述电热炉主体的正面设置有变频旋钮，所述电热炉主体的内部底端固定安装有电机，且电机的输出端固定安装有转轴，所述转轴的外壁固定套接有轴套，且第二导电块的外壁固定安装有扇叶，所述电热炉主体的外壁固定套接有外壳，所述外壳的内壁固定安装有隔热球。本实用新型设置有导电块和弹簧，导电块和弹簧可以在电热炉空烧时停止加热，避免空烧的情况，安全系数更高，外壳和隔热球可以防止电热炉主体内部的热量向四周扩散，在配合扇叶将热量向上散发，提升加热效果，置放座和凹槽可以使加热物品置放的更加稳定，避免发生打滑的情况，使用方便。