[实用新型]槽体支撑模组

摘要

本实用新型公开了槽体支撑模组，包括定位块、焊接块、支撑块和顶盖，支撑块设置于定位块的上表面，顶盖设置于支撑块的上表面中部，焊接块与定位块之间通过第一螺栓固定连接，定位块和支撑块之间通过第二螺栓固定连接，支撑块和顶盖之间通过螺钉固定连接；本实用新型针对半导体湿式制程中槽体支撑方式的改进，利用各部件之间的移动与配合，从而实现槽体在一定范围内的上下、左右、前后的调整的目的，不仅可以在一定范围内对槽体位置进行调整，提高其精确度，而且可以使槽体有效应对多方面的干扰，适应性强，并方便工作人员的后期工作；顶盖和支撑块之间通过螺钉，便于拆卸，从而方便槽体的安装。