[实用新型]一种旋转靶材绑定装置有效
| 申请号： | 201921672006.8 | 申请日： | 2019-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN210560716U | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 胡茂横 | 申请（专利权）人： | 深圳恒泰克科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/32 |
| 代理公司： | 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 | 代理人： | 彭西洋;谢亮 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市坪山区坑梓街道办事处*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型属于旋转靶材技术领域，且公开了一种旋转靶材绑定装置，包括底座，所述底座的顶部安装有支撑架，所述支撑架的外侧固定有控制器，且支撑架的内侧顶端安装有第一液压缸，所述第一液压缸的底部通过液压杆固定连接有真空吸盘，所述支撑架的内侧侧壁安装有导轨，所述导轨远离支撑架的一侧上方固定有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的底部安装有连接块，本实用新型通过电动伸缩杆带动连接块升降，使连接块带动活动块在第二滑槽内滑动，从而使涂胶器能够平缓的上下移动，之后通过第二液压缸带动涂胶器沿水平方向移动，从而使涂胶器左右移动，进而便于涂胶器对旋转靶材与绑定基板的表面进行涂胶。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 绑定 装置 | ||
【主权项】：
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