[实用新型]狭缝距离测量工具有效
| 申请号： | 201921687260.5 | 申请日： | 2019-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN210375019U | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 汪兵 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/14 | 分类号： | G01B11/14;G01B7/14 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 汪洁丽 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种狭缝距离测量工具，包括：第一横杆和固定在第一横杆上的第一限位杆，第一限位杆和第一横杆形成直角，第一限位杆用于抵接第一侧壁；第一横杆平行的第二横杆和固定在第二横杆上的第二限位杆，第二限位杆和第二横杆形成直角，第二横杆可相对第一横杆平行移动，用于使第二限位杆抵接第二侧壁；距离传感组件，用于测量第二横杆相对于第一横杆的移动距离；显示组件，与距离传感组件通信连接，用于根据第一限位杆和第二限位杆在第二横杆移动方向上的初始距离以及移动距离计算并显示狭缝距离。通过第一限位杆和第二限位杆快速确定狭缝边界，并通过距离传感组件和显示组件自动测量狭缝距离，可提高测量速度和精度。 | ||
| 搜索关键词： | 狭缝 距离 测量 工具 | ||
【主权项】：
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