[实用新型]一种半导体元件用清洗装置有效
| 申请号： | 201921706228.7 | 申请日： | 2019-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN210936181U | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 罗艳玲;龚秀友;王敬 | 申请（专利权）人： | 芜湖启迪半导体有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/10;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人： | 孟迪 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖市弋江*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种半导体元件用清洗装置，属于半导体元件清洗技术领域，该半导体元件用清洗装置，包括支撑框架以及支撑框架内设置的承载半导体元件的承托部件和将半导体元件的两端定位的定位部件，定位部件沿支撑框架的长度方向设置有多个，且定位部件沿支撑框架的长度方向滑动定位配合，本实用新型的有益效果是，该清洗装置整体结构简单，使用方便，通用性强，使半导体元件定位稳定，使半导体元件与清洗药水充分接触，提高了清洗效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 元件 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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