[实用新型]一种石英舟自动上下片装置

摘要

本实用新型公开了一种石英舟自动上下片装置，包括支撑柱，支撑柱设置有四个，四个支撑柱的顶端共同固定连接有顶板，顶板的上方设置有液压缸，顶板的上表面开设有移动槽，液压缸的输出端延伸至顶板的下方，液压缸的输出端固定连接有保护壳，保护壳的底部固定连接有夹持框，本实用新型所达到的有益效果是：第一夹片和第二夹片能够同时紧紧夹持多个硅片，实现自动夹取，夹持框能够稳定的朝放置有承载盒的一端滑动，在移动过程中不会出现滑动和抖动，避免在转移硅片的过程中，硅片从夹持框内脱落，能够将夹持的硅片放置在承载槽内，自动上下片的效率高，转移稳定，能够提高产能。