[实用新型]一种密封装置、容器及工件处理系统有效
申请号: | 201921709635.3 | 申请日: | 2019-10-12 |
公开(公告)号: | CN211471595U | 公开(公告)日: | 2020-09-11 |
发明(设计)人: | 危勇军;方志斌 | 申请(专利权)人: | 昆山东威科技股份有限公司 |
主分类号: | C25D17/00 | 分类号: | C25D17/00;C23G3/00;C23G5/04 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 徐律 |
地址: | 215300 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: |
本实用新型提供了一种密封装置、容器及工件处理系统,其中密封装置包括至少一个密封机构,密封机构包括第一驱动机构及间隔设在第一驱动机构的至少两个第一密封部件;第一密封部件受第一驱动机构的驱动而沿第一方向做闭合环的循环移动,且第一密封部件分别与密封通道内壁密封地滑动连接;任一滑行通道的长度为L0 |
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搜索关键词: | 一种 密封 装置 容器 工件 处理 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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