[实用新型]一种线切割装置有效
申请号: | 201921710118.8 | 申请日: | 2019-10-14 |
公开(公告)号: | CN211415813U | 公开(公告)日: | 2020-09-04 |
发明(设计)人: | 周志豪;李贤途;王海呈;梁彬彬;施明向 | 申请(专利权)人: | 福建晶安光电有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 362411 福建省*** | 国省代码: | 福建;35 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 一种线切割装置,其包括:固定部件和切割部,所述的固定部件包括支架,支架的一侧固定有旋转组件、同步旋转组件、两个真空锁紧组件,旋转组件由电力带动旋转、同步旋转部件在旋转组件的带动下同步旋转,同步旋转组件和旋转组件分别连接有一真空锁紧组件,两个真空锁紧组件用于对晶棒的两端面真空夹持,所述的切割部包括切割线以及至少两个线辊通过旋转组件带动固定晶棒进行旋转切割,可以减切割时少晶棒与切割线之间的面积,提升切割速率。 | ||
搜索关键词: | 一种 切割 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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