[实用新型]一种基于氧化锆的微型氧浓度传感元件有效
申请号: | 201921714721.3 | 申请日: | 2019-10-10 |
公开(公告)号: | CN212008404U | 公开(公告)日: | 2020-11-24 |
发明(设计)人: | 潘威;肖红玉;陈浩远;张志强;赵振平;张铭;郭子昂 | 申请(专利权)人: | 中国航空工业集团公司上海航空测控技术研究所 |
主分类号: | G01N27/409 | 分类号: | G01N27/409 |
代理公司: | 中国航空专利中心 11008 | 代理人: | 杜永保 |
地址: | 201601 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型属于传感技术领域,涉及一种基于氧化锆的微型氧浓度传感元件。该元件包括:第一过滤片、第二过滤片、第一电极环、第二电极环、第三电极环以及第一氧化锆片、第二氧化锆片,其中,按照第一过滤片、第一电极环、第一氧化锆片、第二电极环、第二氧化锆片、第三电极环、第二过滤片的顺序依次对中叠放,所述第一电极环与第一过滤片和第一氧化锆片形成空腔,第二电极环与第一氧化锆片和第二氧化锆片形成空腔,第三电极环与第二氧化锆片和第二过滤片形成空腔,所述第一过滤片、第二过滤片、第一电极环、第二电极环、第三电极环以及第一氧化锆片、第二氧化锆片通过烧结结合。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 氧化锆 微型 浓度 传感 元件 | ||
【主权项】:
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