[实用新型]一种用于多晶硅生产系统中的充压气体回收系统

摘要

本实用新型公开了一种用于多晶硅生产系统中的充压气体回收系统，其包括氢气气源、冷凝罐和回收罐，氢气气源分别通过调压管与精馏单元的粗滤硅烷储罐、尾气回收单元的尾气精馏塔和尾气粗分塔、还原单元的还原粗分塔的充压口连通，在调压管上装设有调压控制阀；粗滤硅烷储罐、尾气精馏塔、尾气粗分塔、还原粗分塔的排气口分别通过排气管与冷凝罐的进料口连通，在排气管上装设有排气控制阀。优点：采用氢气代替氮气加压，加压气体无需排空，而是通过尾气回收系统对氢气进行回收利用，避免工艺气浪费，降低成本；减少氮气消耗，同时可解决氮气加压带来的产品品质降低的问题。