[实用新型]一种用于跨平台连接的样品密封和真空转移装置

摘要

本实用新型涉及材料测试技术领域，具体为一种用于跨平台连接的样品密封和真空转移装置。该装置包括：用于连接电镜真空样品室或者激光加工系统真空腔体侧壁的矩形气密法兰、用于封装测试样品的真空密封转移盒，用于实现样品与电镜或者微纳激光加工系统衔接的高精度支架和夹具结构、用于控制真空密封转移盒的机械臂解锁机构，用于真空密封转移盒安放和更换的真空过渡仓，用于确定真空密封转移盒的开启状态的观察窗，用于观察开启的仓门。本实用新型可以广泛应用于各种型号扫描电镜、电子束及离子束双束电镜或微纳激光加工系统跨平台连接和真空转移，形成系统性样品装配、保护、转移和送入装置。