[实用新型]一种石墨舟片检测工具有效
| 申请号： | 201921718715.5 | 申请日： | 2019-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN210722972U | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 陈林;乔勇;孙贤 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215129 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型属于石墨舟技术领域，公开了一种石墨舟片检测工具，其包括基体，所述基体上设置有与被检测石墨舟片的外形相适配的凹槽，所述凹槽内设置有与被检测的石墨舟片上的孔的位置及截面形状一一对应的定位柱。本实用新型提供的石墨舟片检测工具，可以对石墨舟片是否发生结构偏差进行检测，检测过程只需作业人员观察被检测石墨舟片能否落入该检测工具的凹槽内即可，无需通过肉眼观察检测石墨舟片的细微结构，降低了检测难度，并提高检测效率和准确率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 检测工具 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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