[实用新型]一种铜抛光过程表面冷却装置有效
| 申请号： | 201921719611.6 | 申请日： | 2019-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN210849700U | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 王永成 | 申请（专利权）人： | 上海致领半导体科技发展有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B27/00;B24B55/02;B24B55/06 |
| 代理公司： | 上海互顺专利代理事务所(普通合伙) 31332 | 代理人： | 韦志刚 |
| 地址： | 201319 上海市浦东新区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种铜抛光过程表面冷却装置，其结构包括抛光盘、控制器、连接箱、检修门、电机、支撑板、电动推杆、鼓风机、收集框、制冷装置和电源线，为解决树脂铜盘或树脂铁盘旋转打磨过程中易发热膨胀，致使加工件打磨精度差的问题，通过在机体底部内侧设置制冷装置，将壳体嵌入机体底部内侧，接着按压控制器分别启动风机和半导体制冷片，风机经内侧电机带动扇叶转动制造离心力抽取外界气体，气体流经半导体制冷片形成冷空气，冷空气流入牵引斗中，分流管与转化头配合便于冷空气分别经分流管输送至冷基座内侧对透明框内侧进行降解，达到树脂铜盘或树脂铁盘进行及时降温，提高加工件打磨精度的有益效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 过程 表面 冷却 装置 | ||
【主权项】：
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