[实用新型]一种可调节的微孔薄膜沉积装置及微孔薄膜、二次电池

摘要

本申请公开了一种可调节的微孔薄膜表面沉积装置及微孔薄膜、二次电池,涉及二次电池用隔膜制造领域。本申请通过在内筒体内划分若干不同的通气区域，并在不同通气区域内通入特定气体，使薄膜在绕内筒体一周的范围内，分区域成绩从内筒体筒壁上的通气孔透出的反应气体，即可实现多次的ALD循环。此外，本申请通过设置隔板和中心轴，隔板与中心轴滑动连接，使用时能够调节两个隔板之间的距离，进而调整通气区域的宽度，以控制第一反应气体、第二反应气体或非反应气体在不同通气区域的通气量。