[实用新型]一种用于修复PERC太阳能电池的热处理设备有效
申请号: | 201921733551.3 | 申请日: | 2019-10-16 |
公开(公告)号: | CN210984747U | 公开(公告)日: | 2020-07-10 |
发明(设计)人: | 沈永臻;楼秀群;徐义兰;林纲正;陈刚 | 申请(专利权)人: | 浙江爱旭太阳能科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 胡枫;李素兰 |
地址: | 322009 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于修复PERC太阳能电池的热处理设备,包括高温激活区、低温修复区及传输带。高温激活区用于对硅片进行高温热退火处理,高温激活区的温度为600℃~900℃。低温修复区用于对硅片进行低温热退火处理,低温修复区的温度为200℃~500℃。硅片在高温激活区和低温修复区之间通过传输带传输。采用本实用新型,可修复晶格缺陷,降低背面复合速率,提高光电转换效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 修复 perc 太阳能电池 热处理 设备 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的