[实用新型]一种半导体晶圆晶向测量装置

摘要

本实用新型公开了一种半导体晶圆晶向测量装置，包括晶向测量仪、定位杆和固定框，所述晶向测量仪的上表面安装有固定板，且固定板的两侧对称预留有中间滑槽，所述定位杆设置在固定板的内部，所述固定板的左侧上表面焊接有立柱，且立柱的内部两侧对称开设有内部滑槽，所述固定框焊接在螺纹杆的上表面，所述定向环的内侧通过连接杆与安装板相互连接，且安装板的内部两侧均安装有调节杆，所述立柱的上端内部转动连接有侧边丝杆，且立柱的内部开设有侧边滑槽，所述侧边滑块对称固定在涡轮的外部两侧。该半导体晶圆晶向测量装置，采用新型的结构设计，使得本装置可以固定安装不同外径的晶圆进行测量，并且可以测量晶圆不同位置的晶向指数。