[实用新型]密封装置、工件处理容器及具有其的工件处理装置有效
申请号: | 201921738103.2 | 申请日: | 2019-10-16 |
公开(公告)号: | CN211471596U | 公开(公告)日: | 2020-09-11 |
发明(设计)人: | 方志斌;李丰收;危勇军 | 申请(专利权)人: | 昆山东威科技股份有限公司 |
主分类号: | C25D17/00 | 分类号: | C25D17/00;C23G3/00;C23G5/04 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 秦广成 |
地址: | 215300 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供的密封装置、工件处理容器及具有其的工件处理装置,属于电镀技术领域,其中密封装置包括:用于对设在容器的壁上沿第一方向延伸的密封通道密封,所述密封通道用于供若干个密封部件穿过,至少一个密封组件,为柔性材料,设在所述密封通道内和/或设置在所述密封部件上;所述密封组件的内侧壁与其相对的所述密封通道的一侧内壁之间形成供所述密封部件穿过的滑行通道;所述滑行通道的可密封地滑动连接于所述密封部件的外壁与所述密封通道的内壁之间;本实用新型的密封装置,可减少容器内腔中的溶液进入滑行通道内,并从滑行通道内向外流出,使容器内溶液的液面高度下降的速度变慢,对后续批量处理工件的影响小。 | ||
搜索关键词: | 密封 装置 工件 处理 容器 具有 | ||
【主权项】:
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