[实用新型]真空腔室运动部件冷却装置有效
| 申请号： | 201921743482.4 | 申请日： | 2019-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN210560693U | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 宋德鹏;姜良斌 | 申请（专利权）人： | 济南力冠电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 山东众成清泰律师事务所 37257 | 代理人： | 丁修亭 |
| 地址： | 250119 山东省济南市天桥区桑梓*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空腔室运动部件冷却装置，适用于运动部件具有给定运动方向的冷却装置，包括：第一管路，该第一管路的一端与运动部件上的冷却部分连通；第二管路，该第二管路导向于给定的滑轨或第二管路与第一管路均为硬质管，该第二管路与第一管路的另一端连通；第三管路，为冷却液管路源管；软管，该软管用于第二管路与第三管路的连通，且软管的长度大于第二管路与第三管路的连接距离；其中，所述滑轨水平地安装在运动部件上方的真空腔室上，并与所述给定运动方向平行。依据本实用新型的真空腔室运动部件冷却装置适于运动部件的冷却。 | ||
| 搜索关键词： | 空腔 运动 部件 冷却 装置 | ||
【主权项】：
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