[实用新型]一种立式真空均温加热腔体有效
| 申请号： | 201921744446.X | 申请日： | 2019-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN210466154U | 公开（公告）日： | 2020-05-05 |
| 发明（设计）人： | 王俊富;林俊成;郑耀璿;吴柔旻 | 申请（专利权）人： | 鑫天虹（厦门）科技有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/19 | 分类号： | G05D23/19 |
| 代理公司： | 厦门律嘉知识产权代理事务所(普通合伙) 35225 | 代理人： | 温洁;李增进 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市火炬*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种立式真空均温加热腔体，包括机架、立式腔体、真空泵、加热单元、均温控制组件和温控箱。立式腔体固设在机架上方，立式腔体的侧壁中部位置开设有真空抽气口，真空泵通过法兰与真空抽气口连接，加热单元固设在立式腔体的内部上部。均温控制组件包括散热风扇、温度传感器、第一温度监控装置和第二温度监控装置，散热风扇固定安装在立式腔体内部的顶部并朝下吹风，温度传感器设在加热单元的上方。第一温度监控装置和第二温度监控装置固设在立式腔体内部并分别位于真空抽气口的上方和下方。本实用新型能够使整个真空加热腔体有效地达到温度的均匀性，使预烤的晶片能够有效地达到去水汽的功效，在调节温度的同时实现精确控温。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 立式 真空 加热 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于鑫天虹（厦门）科技有限公司，未经鑫天虹（厦门）科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201921744446.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种大型挖斗机配重块检验装置
- 下一篇：一种汽车上支撑轴向性能测试工装
