[实用新型]半导体硅晶柱内部瑕疵影像检测设备有效

专利信息
申请号: 201921754094.6 申请日: 2019-10-18
公开(公告)号: CN210982247U 公开(公告)日: 2020-07-10
发明(设计)人: 林火旺;刘立清;廖文民 申请(专利权)人: 东莞市庆颖智能自动化科技有限公司
主分类号: G01N21/88 分类号: G01N21/88;G01N21/89;G01N21/01
代理公司: 厦门市新华专利商标代理有限公司 35203 代理人: 吴成开;徐勋夫
地址: 523000 广东省东莞市*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型公开一种半导体硅晶柱内部瑕疵影像检测设备,包括有机架、电控箱、转环装置、取像装置以及打标装置;该机架上具有进料槽和出料槽,该进料槽和出料槽中均设置有传送装置,出料槽与进料槽之间形成有运转空间;该转环装置竖向设置于机架内并位于运转空间中,转环装置包括有转环和第一驱动机构,该第一驱动机构与电控箱连接并带动转环运转;该取像装置和打标装置均设置于转环上随转环转动。通过配合利用电控箱、转环装置、取像装置和打标装置,可对半导体硅晶柱进行全方位的拍照和打标记,实现对半导体硅晶柱内部瑕疵的全面检测,使得后续在切割的过程中,可避开有内部瑕疵的位置,从而有效节省时间、人力和成本。
搜索关键词: 半导体 硅晶柱 内部 瑕疵 影像 检测 设备
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东莞市庆颖智能自动化科技有限公司,未经东莞市庆颖智能自动化科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201921754094.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top