[实用新型]一种晶圆切割切口检测装置

摘要

本实用公开了一种晶圆切割切口检测装置，包括操作台，所述操作台侧板的一侧固设有第一暗箱，所述操作台侧板的另一侧固设有第二暗箱，所述第一暗箱和第二暗箱的底部均安设有箱盖。本实用设置了第一暗箱和第二暗箱，而且第二暗箱与第一暗箱相互交替工作，当第一暗箱的内部在对晶圆进行检测的同时，可以对第二暗箱进行下料与上料操作，使得上料、检测以及下料三者互不影响，而且不用停顿的交替循环进行，大大的提高了检测效率，而且分别在第一暗箱和第二暗箱的底部均设置有液压杆，使用时，通过液压杆的作用，可以带动第一暗箱和第二暗箱的下方的承载台交替式的上下移动，使用起来更加的自动化，方便上料与下料。