[实用新型]具有高透光电极结构的TOF传感器以及成像装置

摘要

本申请提供具有高透光电极结构的TOF传感器以及成像装置，其包括：半导体衬底；形成于该半导体衬底内的光电二极管的阵列；叠加电极结构，其设置于该光电二极管阵列的光线入射一侧，包括多层电极和多层绝缘膜和对准光电二极管的可透过红外光的透明区域；以及微透镜阵列，设置于该入射光通孔的光线入射一侧；叠加电极的至少一层电极在通孔边缘往衬底方向延伸和弯折，引导光线进入光电二极管。本申请的结构可以有效防止光线进入多层电极之间造成的横向串扰和光能损失。