[实用新型]一种石英舟位置可调节的倒片装置

摘要

一种石英舟位置可调节的倒片装置，涉及半导体硅片热处理技术领域，包括倒片器和与倒片器顶部石英舟工位形状相适应的可调节基座，可调节基座对应安装于倒片器顶部；所述可调节基座包括底座，在底座的四角处分别设有与底座的四角配合的直角形的定位件，定位件与底座共同形成用于卡设石英舟的石英舟卡槽；所述底座上还设有定位销和可左右调节固定位置的调节螺丝，倒片器上与底座上定位销及调节螺丝相对应的位置分别设有定位销移动孔和调节螺丝固定孔。本实用新型有益效果：通过改进的倒片器与石英舟可调节基座，消除了原有倒片方式下，石英舟位置不能调节的现象，提升设备性能，提高产品质量。