[实用新型]薄片队列微电极及三维微电极

摘要

本实用新型揭示了一种薄片队列微电极及三维微电极，包括电极本体和薄片电极，电极本体为条形；多个薄片电极成队列的固定连接电极本体的一侧，薄片电极的固定端与电极本体连接，薄片电极的自由端设有微结构加工槽，每个微结构加工槽的槽底面沿薄片电极的厚度方向倾斜相同的角度，每个微结构加工槽的槽底面与薄片电极的侧壁面为倒角过渡，且倒角的角度相等。本实用新型的薄片队列微电极，通过多个薄片电极成队列固定连接于电极本体的一侧，每个薄片电极的微细电火花加工结果将存在斜面结构，从而使若干个斜面结构叠加拟合成三维微电极，三维微电极的表面平整，提高了三维微电极的形状精度，消除了台阶效应。