[实用新型]一种半导体生产线的废热利用装置

摘要

本实用新型公开了一种半导体生产线的废热利用装置，包括加热箱，所述加热箱上方开设有贯穿侧壁的开口，所述开口内侧壁固定连接有U型块，所述U型块内设置有加热机构，所述加热箱侧壁处连接有蒸汽箱，所述蒸汽箱通过出气管道连接有传输机构，所述加热箱内侧壁固定连接有水箱，所述水箱内设置有呈环绕设置的气体管。本实用新型，通过废气管将废热气体进行利用，通过调节块内的连接腔、连接装置、连接管实现将废热气体排入加热管中进行对工件预热，通过将加热管的气体排入气体管进行对水箱内的水进行加热，通过与加热箱侧壁的蒸汽箱进行加热来自水箱中的温水使其产生热气，保证在化车间生产设备未工作，没有产生废热时对工件的预热。