[实用新型]一种CVD金刚石材料热电偶装置有效
| 申请号： | 201921798674.5 | 申请日： | 2019-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN210571073U | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 王骏;赵芬霞;蒋荣方;刘宏明 | 申请（专利权）人： | 湖州中芯半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01K7/02 | 分类号： | G01K7/02 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 刘晓明 |
| 地址： | 313000 浙江省湖州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种CVD金刚石材料热电偶装置，包括探头、导线和绝缘防烫板，所述探头设于绝缘防烫板上，所述导线连接于探头，所述探头包括壳体和测温电极，所述测温电极包括氮掺杂CVD金刚石单晶片、磷掺杂CVD金刚石单晶片、金属贴片电极和磷‑硅半导体薄膜，所述磷掺杂CVD金刚石单晶片上设于壳体内，所述氮掺杂CVD金刚石单晶片设于磷掺杂CVD金刚石单晶片上，所述磷‑硅半导体薄膜设于氮掺杂CVD金刚石单晶片和磷掺杂CVD金刚石单晶片之间。本实用新型属于温度测量技术领域，具体是指一种体积小、动态范围大、精度高、抗噪声的CVD金刚石材料热电偶装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 cvd 金刚石 材料 热电偶 装置 | ||
【主权项】：
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