[实用新型]一种用于激光干涉仪的高精度球面标准镜有效
申请号: | 201921799535.4 | 申请日: | 2019-10-24 |
公开(公告)号: | CN211425334U | 公开(公告)日: | 2020-09-04 |
发明(设计)人: | 吴振聪;陈玉芳;连东沛;张昊;王敏 | 申请(专利权)人: | 福建师范大学 |
主分类号: | G01B9/02 | 分类号: | G01B9/02 |
代理公司: | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人: | 吴志龙;蔡学俊 |
地址: | 350117 福建省福州市闽侯县*** | 国省代码: | 福建;35 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本实用新型提供一种用于激光干涉仪的高精度球面标准镜,沿着由物方至像方依次包括光阑S1、第一凹凸负透镜S2、第二双凸正透镜S3、第三凹凸正透镜S4、第四凹凸正透镜S5,所述第一凹凸负透镜S2的焦距为fS2,第二双凸正透镜S3的焦距为fS3,第三凹凸正透镜S4的焦距为fS4,第四凹凸正透镜S5的焦距为fS5,各个透镜焦距满足以下关系式:‑400≤fS2≤‑300;100≤fS3≤150;100≤fS4≤150;200≤fS5≤250。本实用新型的高精度球面标准镜整体结构紧凑,光学总长不超过60mm,可以很好地将50mm范围内的平行光进行汇聚,产生标准的球面波来进行面形偏差的检测。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 激光 干涉仪 高精度 球面 标准 | ||
【主权项】:
暂无信息
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