[实用新型]一种用于激光干涉仪的高精度球面标准镜有效

专利信息
申请号: 201921799535.4 申请日: 2019-10-24
公开(公告)号: CN211425334U 公开(公告)日: 2020-09-04
发明(设计)人: 吴振聪;陈玉芳;连东沛;张昊;王敏 申请(专利权)人: 福建师范大学
主分类号: G01B9/02 分类号: G01B9/02
代理公司: 福州元创专利商标代理有限公司 35100 代理人: 吴志龙;蔡学俊
地址: 350117 福建省福州市闽侯县*** 国省代码: 福建;35
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 实用新型提供一种用于激光干涉仪的高精度球面标准镜,沿着由物方至像方依次包括光阑S1、第一凹凸负透镜S2、第二双凸正透镜S3、第三凹凸正透镜S4、第四凹凸正透镜S5,所述第一凹凸负透镜S2的焦距为fS2,第二双凸正透镜S3的焦距为fS3,第三凹凸正透镜S4的焦距为fS4,第四凹凸正透镜S5的焦距为fS5,各个透镜焦距满足以下关系式:‑400≤fS2≤‑300;100≤fS3≤150;100≤fS4≤150;200≤fS5≤250。本实用新型的高精度球面标准镜整体结构紧凑,光学总长不超过60mm,可以很好地将50mm范围内的平行光进行汇聚,产生标准的球面波来进行面形偏差的检测。
搜索关键词: 一种 用于 激光 干涉仪 高精度 球面 标准
【主权项】:
暂无信息
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