[实用新型]一种翻舟固定装置有效
| 申请号： | 201921806373.2 | 申请日： | 2019-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN211700225U | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 刘群;庞爱锁;林佳继;朱太荣;林依婷 | 申请（专利权）人： | 深圳市拉普拉斯能源技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283 | 代理人： | 董世博 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种翻舟固定装置，包括固定板和用于固定花篮的移动台,固定板和移动台之间设置有传动机构，使得移动台能够相对于固定板移动。能保证翻舟机构在翻转花篮的过程中,无论转动角度如何，均能保证花篮及花篮内的硅片均不会掉落；通过传动块和第一腰型孔、第二腰型孔配合，能达到占用空间小但拉动移动台距离大的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 固定 装置 | ||
【主权项】：
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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