[实用新型]一种三切换曝光用平台有效
| 申请号： | 201921812090.9 | 申请日： | 2019-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN210605358U | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 陈志特;王华;何增灿;黄海浩 | 申请（专利权）人： | 东莞科视自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 东莞市中正知识产权事务所(普通合伙) 44231 | 代理人： | 成伟 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种三切换曝光用平台，包括机架、第一工作框模组、第二工作框模组、第三工作框模组和导向模组，所述第一工作框模组、第二工作框模组和第三工作框模组平铺排列在所述机架上，所述导向模组分别与所述第一工作框模组、第二工作框模组和第三工作框模组连接，以实现所述第一工作框模组、第二工作框模组和第三工作框模组之间的相互切换；其中，所述第一工作框模组、第二工作框模组和第三工作框模组均包括调节板和工作框，所述调节板设置在所述工作框内，所述工作框与所述导向模组连接。本实用新型使应用该平台的自动曝光设备可同时进行对位曝光和进/出料，或同时进行对位、曝光以及进/出料，大大提高了该自动对位曝光设备的产能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 切换 曝光 平台 | ||
【主权项】：
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