[实用新型]一种清洗晶圆的装置有效
| 申请号： | 201921818239.4 | 申请日： | 2019-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN211413092U | 公开（公告）日： | 2020-09-04 |
| 发明（设计）人： | 林锦伟;林伟铭;钟艾东;甘凯杰;翁佩雪;邓丹丹;赵玉会;吴恋伟 | 申请（专利权）人： | 福建省福联集成电路有限公司 |
| 主分类号： | B08B11/00 | 分类号： | B08B11/00;B08B11/02;B08B3/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人： | 林祥翔;郭鹏飞 |
| 地址： | 351117 福建省莆*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型涉及了一种清洗晶圆的装置，包括槽体以及设置于槽体内的喷淋组件、电磁筛与加热管，所述电磁筛设置于喷淋组件的下方，所述加热管固定于槽体内壁上；所述喷淋组件包括喷淋组件本体，所述喷淋组件本体上设置有动力元件、行走部件、旋转载台以及若干喷淋头，所述行走部件与槽体槽口相适配，所述动力元件用于驱动行走部件沿槽口行走，所述旋转载台上开设有载物通孔，所述喷淋组件本体内设置有与各喷淋头相连接的管道；所述槽体底部开设有槽体进液口以及槽体出液口，槽体进液口以及槽体出液口均位于电磁筛的下方，所述槽体出液口处设置有分流装置。该清洗晶圆的装置能够实现高效、环保以及节能的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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