[实用新型]一种微波等离子体发生装置有效
| 申请号： | 201921824316.7 | 申请日： | 2019-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN210928112U | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 周小影;汪锋 | 申请（专利权）人： | 安徽费曼尔科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 苗娟 |
| 地址： | 231241 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种微波等离子体发生装置，可解决现有的等离子体反应装置等离子体密度不够高的技术问题。包括波源通过导管和真空腔体结构相连，所述真空腔体结构分别与真空抽气系统、进气系统连通；所述真空腔体结构的内部设置样品台，样品台用于放置样品；所述真空腔体结构还与真空测量系统连通；所述真空腔体结构的外部设置磁体。本实用新型通过设置可以轴向移动的磁体，来改变磁场位型，进而改变被约束的等离子体的分布状态，以满足不同需求的实验参数。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微波 等离子体 发生 装置 | ||
【主权项】：
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