[实用新型]真空镀膜的真空组件以及真空镀膜设备有效
| 申请号： | 201921826210.0 | 申请日： | 2019-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN211284524U | 公开（公告）日： | 2020-08-18 |
| 发明（设计）人： | 朱冰冰;来华杭;周海龙;俞峰 | 申请（专利权）人： | 浙江上方电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/56 |
| 代理公司： | 杭州合信专利代理事务所(普通合伙) 33337 | 代理人： | 黄平英 |
| 地址： | 312366 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请公开了真空镀膜的真空组件以及真空镀膜设备，其中真空组件用于在真空设备的阴极门和真空箱体之间建立可分离的真空管路，包括：固定端管路，包括与真空箱体连接的固定端支架和固定端真空管，固定端支架设有朝向阴极门的固定端法兰，固定端真空管的端部的外缘与固定端法兰的内缘密封配合；分离端管路，包括与阴极门连接的分离端支架和分离端真空管，分离端支架设有朝向固定端法兰的分离端法兰，分离端真空管的端部的外缘与分离端法兰的内缘密封配合；分离端支架上设有调平机构，调平机构用于调整分离端法兰相对于固定端法兰的空间位置和姿态，分离端法兰和固定端法兰之间设有对正机构。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 真空 组件 以及 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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