[实用新型]闭环式芯上反馈的宽量程垂直灵敏磁传感器

摘要

本实用新型公开了一种闭环式芯上反馈的宽量程垂直灵敏磁传感器，包括硅基衬底、通量引导器、磁敏电阻、信号反馈线圈、运算放大器和功率放大器,本实用新型通过在推拉式垂直灵敏的磁传感器芯片上设置在位信号反馈线圈，当通有反馈电流时信号反馈线圈上方的磁敏电阻敏感轴方向上产生大小相等方向相反的磁场信号，分别抵消原信号磁场，而形成闭环式反馈结构，有效改善传感器输出线性度，提高测量精度，降低功耗；利用磁敏电阻距通量引导器间距不同，进而使得磁敏电阻接收的水平方向磁场分量不同，实现分别对大磁场和小磁场不同量程检测的目的。