[实用新型]一种条纹状结构的电热式扭转驱动器有效
申请号: | 201921836877.9 | 申请日: | 2019-10-29 |
公开(公告)号: | CN211896029U9 | 公开(公告)日: | 2020-12-25 |
发明(设计)人: | 王鹏;黄兆兴;谢会开 | 申请(专利权)人: | 无锡微奥科技有限公司 |
主分类号: | B81B3/00 | 分类号: | B81B3/00;B81B7/02 |
代理公司: | 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 | 代理人: | 赵华 |
地址: | 214000 江苏省无锡市新吴区菱湖*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种条纹状结构的电热式扭转驱动器1,该条纹状结构的电热式扭转驱动器1的一端连接固定端2,另一端连接可动单元3,该条纹状结构的电热式扭转驱动器1由至少两种热膨胀系数不同材料组成的薄膜构成,分别为上层薄膜1-1和下层薄膜1-2,其中上层薄膜1-1包含两个或两个以上的带状结构,该带状结构间隔排列在下层薄膜1-2上,带状结构与其下部的下层薄膜1-2组成扭转单元4,每个扭转单元4的中心线4-1可为直线或曲线并与固定端2的端面形成倾斜角,当该条纹状结构的电热式扭转驱动器1温度变化时,该条纹状结构的电热式扭转驱动器1产生扭转,从而带动可动单元3转动。优点:解决了现有电热式MEMS驱动器不易扭转的技术问题,具有结构简单、易实现的特点。 | ||
搜索关键词: | 一种 条纹 结构 电热 扭转 驱动器 | ||
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