[实用新型]一种电热式MEMS扭转驱动器有效
| 申请号： | 201921838921.X | 申请日： | 2019-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN212450611U | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 王鹏;黄兆兴;谢会开 | 申请（专利权）人： | 无锡微奥科技有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 | 代理人： | 赵华 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新吴区菱湖*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种电热式MEMS扭转驱动器，其特征在于该电热式MEMS扭转驱动器1由至少两种热膨胀系数不同材料组成的薄膜结构，该电热式MEMS扭转驱动器一端固定，另一端连接可动单元2，该电热式MEMS扭转驱动器中心线3不与固定端面垂直，且中心线3的斜率没有拐点，当电热式MEMS扭转驱动器1温度升高时，电热式MEMS扭转驱动器1绕x轴方向转动，从而带动可动单元2转动。优点：解决了现有电热式MEMS驱动器不易扭转的技术问题，具有结构简单、易实现的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电热 mems 扭转 驱动器 | ||
【主权项】：
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