[实用新型]一种用于芯片分离的治具有效
申请号: | 201921840490.0 | 申请日: | 2019-10-30 |
公开(公告)号: | CN210379009U | 公开(公告)日: | 2020-04-21 |
发明(设计)人: | 乔红伟;杨纯利 | 申请(专利权)人: | 紫光宏茂微电子(上海)有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/67 |
代理公司: | 上海市嘉华律师事务所 31285 | 代理人: | 黄琮 |
地址: | 201700 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型实施例公开了一种用于芯片分离的治具。本实用新型的用于芯片分离的治具,包括:底座、支撑柱、载具、滚珠和弹簧,支撑柱设置在底座上,载具设置在支撑柱的顶端,载具设有容置通槽,容置通槽的顶端的孔径小于滚珠的外径,滚珠可滚动的设置在容置通槽内,且滚珠的顶端凸出于容置通槽,弹簧设置在容置通槽内,弹簧的底端与支撑柱抵持,顶端与滚珠的底部抵持。本实用新型的用于芯片分离的治具,使用时,将基板/导线架贴有贴布的背面按压在滚珠上往复移动,通过滚珠的滚动使贴布松弛,贴布上相邻的单颗芯片之间的间隙变大,且贴布与芯片之间的粘力变小,将芯片剥离取出时,芯片与相邻芯片之间不会发生碰撞而造成崩缺的缺陷。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 芯片 分离 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造