[实用新型]一种旋转靶材绑定用抽真空装置有效
| 申请号： | 201921848877.0 | 申请日： | 2019-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN211036079U | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 陈标;刘所心;郭朋;段宇龙 | 申请（专利权）人： | 广西晶联光电材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/56;B22D19/04 |
| 代理公司： | 柳州市荣久专利商标事务所(普通合伙) 45113 | 代理人： | 韦微 |
| 地址： | 545616 广西壮族自治区柳州市柳*** | 国省代码： | 广西;45 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种旋转靶材绑定用抽真空装置，绑定时，背管放置在模具底座的圆形凹槽内，旋转靶材套装在背管外侧并放置在圆形凹槽外的模具底座上，密封盖的圆形端盖放置在背管上，密封盖的凸缘与旋转靶材上端面接触，压杆放置在密封盖上，所述密封环Ⅰ设置于靶材与模具底座之间，密封环Ⅱ设置在背管与模具底座之间，密封环Ⅲ设置于靶材与密封盖之间，密封环Ⅳ设置在背管与密封盖之间。采用本实用新型在绑定过程对旋转靶材与背管之间形成的密闭空间进行抽真空，能够防止加热过程中旋转靶材被氧化，解决了现有绑定技术中靶管金属化层与背管金属化层在升温过程中被氧化的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 绑定 真空 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广西晶联光电材料有限责任公司，未经广西晶联光电材料有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201921848877.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
