[实用新型]一种光罩盒

摘要

本实用新型涉及半导体存储技术领域，具体为一种光罩盒，包括具有第一容纳空间的上盖体以及具有第二容纳空间的下盖体，第二容纳空间中配置有承载盒体，承载盒体侧壁与所述下盖体侧壁之间留有空隙，其中，承载盒体具有第一侧壁和第二侧壁，第一侧壁的内侧和第二侧壁的内侧设有互相对称的竖向凹槽，承载盒体的底部设有中空框架，中空框架上设有与竖向凹槽一一对应的支撑平面；上盖体上相对的两侧壁上设有扣合位，下盖体上与扣合位对应的位置设有锁扣位，扣合位与锁扣位卡扣连接。本实用新型的光罩盒可以确保晶片在承载盒体中存放时更加稳定，而且能够使光罩盒在收到外界撞击时起到缓冲的作用，从而保证光罩盒内的晶片不发生破裂。