[实用新型]非接触式透镜中心厚度测量装置有效

专利信息
申请号: 201921853153.5 申请日: 2019-10-30
公开(公告)号: CN210773918U 公开(公告)日: 2020-06-16
发明(设计)人: 孙慧慧 申请(专利权)人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
主分类号: G01B11/06 分类号: G01B11/06
代理公司: 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 代理人: 王宏婧
地址: 201203 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型提供一种非接触式透镜中心厚度测量装置,包括承载标准小球的第一调整平台、承载上光学平板的第二调整平台、承载待测透镜的第三调整平台、承载下光学平板的第四调整平台、镜面定位仪及镜片定心仪,所述第一调整平台、第二调整平台、第三调整平台及第四调整平台均包括偏心调整机构和倾斜调整机构,且通过一机械支撑工装自上而下连接;镜面定位仪的定位仪测量头和镜片定心仪的定心仪测量头设置于第一调整平台的上方且可以互相切换。本实用新型借助镜片定心仪和镜面定位仪,在无需知道待测透镜的折射率的情况下就可以对待测透镜的中心厚度进行非接触、高精度的快速测量,可用于平面、球面及非球面光学元件中心厚度的测量。
搜索关键词: 接触 透镜 中心 厚度 测量 装置
【主权项】:
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