[实用新型]检测组件、检测装置以及检测系统有效
| 申请号： | 201921864477.9 | 申请日： | 2019-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN211179650U | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;丁向前 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N29/04 | 分类号： | G01N29/04;G01B17/00 |
| 代理公司： | 北京超成律师事务所 11646 | 代理人： | 韩梦嘉 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及靶材焊接技术领域，尤其是涉及一种检测组件、检测装置以及检测系统。一种检测组件，用于检测溅射靶材与背板的焊接结合率，包括移动机构和探头，探头能够吸附于移动机构上，且移动机构用于带动探头在待检测件上方移动。本申请中探头吸附于移动机构上，即探头在所述移动机构上的位置可调，具有较强的灵活性，保证探头始终与待检测件的位置对应，即使检测更加精准。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 组件 装置 以及 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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