[实用新型]一种制备太阳能薄膜材料的团簇装置

摘要

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，且公开了一种制备太阳能薄膜材料的团簇装置，包括进出样室，所述进出样室的左侧设置有P型薄膜材料生长室，所述进出样室的上方设置有I型薄膜材料生长室，所述进出样室的右侧设置有N型薄膜材料生长室，每个两个生长室之间均设置有门阀，所述进出样室、P型薄膜材料生长室、I型薄膜材料生长室、N型薄膜材料生长室上均设置有真空抽气口。本方案一种制备太阳能薄膜材料的团簇装置结构，通过样片传递小车带动样片在进出样室和生长室来回运动，并根据需要在每个生长室掺杂沉积相应的薄膜材料，不会交叉污染，而且不用破坏真空，从而制备出高纯度的太阳能薄膜材料，薄膜材料质量更有保障、生长效率更高。