[实用新型]一种超声波单晶硅片清洗槽有效
| 申请号： | 201921873971.1 | 申请日： | 2019-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN210995606U | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 朱汪龙;朱玲 | 申请（专利权）人： | 无锡乐东微电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;H01L21/67;H01L21/02 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 石艳红 |
| 地址： | 214028 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种超声波单晶硅片清洗槽，包括丝杆、螺母块、电机、电动伸缩杆、超声波振子、升降板、连接管、真空吸盘以及真空泵，支撑板左端面上侧装配有电机，电机右端面安装有丝杆，丝杆环形侧面安装有螺母块，螺母块下端面装配有电动伸缩杆，电动伸缩杆下端面固定有升降板，升降板上端面中间位置装配有真空泵，真空泵左端面安装有连接管，升降板下端面安装有真空吸盘，真空泵通过连接管与真空吸盘相连接，超声波振子安装在清洗斗内壁，该设计解决了原有单晶硅片不方便超声波清洗的问题，本实用新型结构合理，方便单晶硅片送料清洗，清洗效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超声波 单晶硅 清洗 | ||
【主权项】：
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