[实用新型]硅烷中乙硅烷的分析系统有效
| 申请号： | 201921897244.9 | 申请日： | 2019-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN210923596U | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 金向华;魏入铎;齐相前;王新喜;许军州 | 申请（专利权）人： | 苏州金宏气体股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N30/02 | 分类号： | G01N30/02;G01N30/64 |
| 代理公司： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人： | 陆金星 |
| 地址： | 215152 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅烷中乙硅烷的分析系统，包括第一阀门、第二阀门、第一色谱柱、第二色谱柱和PDHID脉冲放电检测器；第一阀门上沿环向顺时针依次设置有第一至第十接口；第二阀门上沿环向顺时针依次设置有第十一至第十六接口；第一接口为进样孔，第二接口、第五和第十二接口均为放空孔，第三和第十接口之间连接有定量管，第四、第八和第十五接口均为载气进气孔，第一色谱柱的两端分别连接到第六和第九接口，第二色谱柱的两端分别连接到第七和第十三接口，第十一与第十六接口连通，第十四接口连接到PDHID脉冲放电检测器。本实用新型具有灵敏度高、分离效果好、分析速度快的优点，一个样品检测只需要10分钟左右。 | ||
| 搜索关键词： | 硅烷 分析 系统 | ||
【主权项】：
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