[实用新型]应用于真空电弧离子镀及磁控溅射离子镀的驱动电源

摘要

应用于真空电弧离子镀及磁控溅射离子镀的驱动电源，包括四只可控开关管QC1，QC2，QC3，QC4形成桥臂，每个可控开关管的漏源极之间并联一个续流高频二极管；可控开关管控制极与电源的控制电路连接以控制其导通关断；还包括高频二极管DC5，DC6，滤波电容CC1、CC2、CC3、电解电容CA,CB；电阻RC1、RC2,电感LC；RC1与DC5并联后一端与A电源连接，另一端通过LC与B电源连接；DC6阴极与CC3串联后接驱动电源的低电位，DC6阳极与高频DC5阳极连接；RC2一端与DC6阴极连接，另一端与B电源连接；CC1并联在驱动电源输入端，CC2接在DC6阳极以及驱动电源低电位两端。