[实用新型]一种机械轴承与气浮轴承相结合的承片台主轴组件有效
| 申请号： | 201921902608.8 | 申请日： | 2019-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN211082572U | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | 曹丽萍;张万财;王加初;文康 | 申请（专利权）人： | 平凉市老兵科技研发有限公司 |
| 主分类号： | F16C32/06 | 分类号： | F16C32/06;F16C35/00;F16H57/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 蒋秀清 |
| 地址： | 744000 甘肃省平凉市*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种机械轴承与气浮轴承相结合的承片台主轴组件，属于半导体加工设备技术领域。该承片台主轴组件的主轴上自上而下安装有上机械轴承部分、气浮轴承部分、下机械轴承部分，主轴上下两端分别螺纹连接有上轴承内圈锁紧螺母、下轴承内圈锁紧螺母；所述上机械轴承部分包括上轴承壳、上角接触球轴承、上轴承外圈挡圈，所述气浮轴承部分包括气浮转芯、气浮轴承上壳体、气浮轴承下壳体、气浮轴承外隔圈、下气道密封盖、上气道密封盖,所述下机械轴承部分下轴承壳，下角接触球轴承、下轴承外圈挡圈。该承片台主轴组件结构简单，零件间紧凑连接，制造安装操作简单，运行相对平稳，制造成本低廉。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 机械 轴承 相结合 承片台 主轴 组件 | ||
【主权项】：
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