[实用新型]一种分体防污装置

摘要

本实用新型公开了一种分体防污装置，包括底板支柱、法兰座、支撑底板、防污板支柱，所述法兰座和阴极组装，阴极包括靶材、磁棒、驱动端和支撑端，所述靶材和磁棒一端连接驱动端，另一端连接支撑端，所述底板支柱紧固在法兰座上，所述底板支柱上支撑着支撑底板并用螺钉锁紧固定，所述防污板支柱组装在支撑底板上，所述防污板支柱支撑并用第一固定螺钉分别固定第一右防污板和第一左防污板、第二右防污板和第二左防污板、第三右防污板和第三左防污板，第四右防污板和第四左防污板、第五右防污板和第五左防污板分别用第二固定螺钉固定在法兰座的法兰面上。本新型可可以不拆除靶材而实现防污板的清洁保养，且能够快捷拆除和安装防污板。