[实用新型]一种相变材料化学机械抛光设备

摘要

本实用新型公开了一种相变材料化学机械抛光设备，包括工作台、电机、第二磨砂轮、抽泵和电动推杆，所述工作台的顶表面固定连接有支撑块，且支撑块的上表面固定连接有电机，所述电机的输出端安装有圆柱块，且圆柱块贯穿支撑块的外表面，并且圆柱块的底表面固定连接有第一磨砂轮，所述圆柱块的外表面固定连接有第一锥形齿轮，且第一锥形齿轮位于支撑块的内部，所述第一锥形齿轮的下表面连接有第二锥形齿轮。该相变材料化学机械抛光设备，该抛光设备可通过第一锥形齿轮带动第二锥形齿轮的旋转，使得第一磨砂轮和第二磨砂轮同时旋转，达到能够同时对材料的三个面进行抛光，减小抛光所需消耗的时间。