[实用新型]一种集成式小型晶片甩干装置

摘要

本实用新型公开了一种集成式小型晶片甩干装置，包括驱动底座，所述驱动底座包括转动部，所述转动部连接有旋转底盘，所述旋转底盘上同轴设置有晶片盘，所述晶片盘关于中心对称设置有六个晶片槽，所述六个晶片槽的中心连线形成六边形环，所述晶片盘上以六边形环向外偏置设置有若干环的晶片槽，所述晶片盘设置有接通任意相邻的两个晶片槽的过水槽，所述晶片盘的外圆周设置有与过水槽相通的排水槽，其技术方案要点是，采用集成式的晶片盘结构，晶片槽呈六边形环环均匀分布，一次可装夹多个晶片，通过旋转底盘旋转带动晶片盘旋转，在晶片盘的离心作用下，将晶片上残留的水等脏污沿过水槽向外环甩离晶片盘的中心，并从排水槽向外甩出。