[实用新型]一种F40大数值孔径高功率激光衍射极限准直物镜有效

专利信息
申请号: 201921930005.9 申请日: 2019-11-08
公开(公告)号: CN210776002U 公开(公告)日: 2020-06-16
发明(设计)人: 肖向荣 申请(专利权)人: 武汉奥莱光电科技有限公司
主分类号: G02B13/00 分类号: G02B13/00;G02B27/30;B23K26/04
代理公司: 武汉知产时代知识产权代理有限公司 42238 代理人: 郝明琴
地址: 430000 湖北省武汉市东湖*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 实用新型涉及一种F40大数值孔径高功率激光衍射极限准直物镜,沿着915nm激光入射方向依次设置第一透镜、第二透镜、第三透镜,第一透镜为双凸透镜,第二透镜为平凸透镜,第三透镜为双凸透镜,第一透镜与第二透镜的中心间隔d2=12.7mm,第二透镜与第三透镜的中心间隔d4=4.1mm,本实用新型达到的性能参数是:焦距为40mm,数值孔径为0.5,入瞳直径为20mm,非球面准直镜几乎接近衍射极限,波像差小于0.22λ。本实用新型应用于激光微加工系统,可以解决同轴高度跟踪,加工后深度等尺寸的测量问题,从而提高设备仪器的智能化与精密化水平。
搜索关键词: 一种 f40 数值孔径 功率 激光 衍射 极限 物镜
【主权项】:
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